高周波化合物半導体エピタキシャル結晶成長炉に関する生産技術業務
■主な業務 ・量産エピ製品の不良に対する原因分析・対策(データ分析、条件変更、原因の切り分け) ・エピ成長起因のチップ歩留まり改善 ・生産性向上に向けた改善策検討・実施(待機時間の短縮、工程順序の組み換えによる処理数の向上等) ・治具・工具の設計・改善による生産効率の改善 ・新規ラインの構築・立ち上げ(現在進行中) ・新規量産設備の導入および管理(老朽装置の更新を含む) ■技術的なテーマ 現在、ウェハ大口径化を進めています。面積が大きくなることで、ウェハの中心部と周辺部で均一な特性を出すことが技術的な難所となります。単に大きな装置を用意すれば済むものではなく、条件出しや安定稼働に相当の作り込みが必要です。 ■開発部門との役割分担 ・材料選定・構造設計:開発部門が担当 ・本ポジション:既存プロセスの安定化、量産性の向上、条件の最適化 ・既存設備の条件出しは社内で完結していて、独自のノウハウを蓄積しています。