DRAMプロセス統合（PI）BEOLエンジニア
■次世代DRAMテクノロジーノードに向けたモジュール開発を主導していただきます。 モジュールオーナーとして、1つまたは複数のモジュールに対する構造的および電気的要件を定義し、各所とと連携しながら、モジュールをプロセス全体に統合します。 また、多分野のエンジニアからなるチームと協働し、新しいアーキテクチャ、デバイス、技術、材料を評価することで、今後5年以上を見据えた技術開発の方向性を検証します。 【具体的には】 ・電気特性、インライン指標、ユニットプロセス、デザインルールに基づき、構造仕様を策定 ・構造‐電気特性の相関に基づき、エンジニアリング仕様を満たすための実験を設計・実行・解析 ・モデルベースのアプローチで問題解決を行い、プロセス改善、特許、技術論文を通じて技術革新を推進 ・1つまたは複数のプロセスモジュールについて、デザインルール、構造仕様、電気仕様を含めて開発・維持・改善 ・既存プロセスフローを最適化し、製品要件を満たす創造的な解決策を開発 ・JMPなどの統計解析ソフトウェアを用いて、実験の設計・実行および結果解析を実施 ・結果を製品側へフィードバックし、歩留まり改善に貢献 ・インラインデータ、欠陥データ、パラメータデータ、プローブデータを抽出・監視・解析し、歩留まり問題の解決、性能・信頼性向上、プロセスマージン拡大、コスト削減を推進 ・設計、製品技術、モデリング、歩留まり改善、電気・物理的故障解析、欠陥解析、パラメータ、品質チームと部門横断的に連携し、課題・目標・優先順位への理解 ・複雑な問題を要約し、対応策を導出・説明し、チームの実行を牽引 ・担当モジュール内におけるサブマイルストーンの定義 ・プロセスインテグレーション、プロセス開発、パイロットファブ間の円滑なコミュニケーションを維持・徹底 ・製造移管に向けて、R&D活動の適時なドキュメンテーションを確実に実施