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電気回路設計<測長SEM/電子ビーム制御>
■半導体計測検査装置(CD-SEM)、ウェーハ検査用表面検査装置(光学装置)の電気設計業務をお任せいたします。 【具体的には】 CD-SEM、光学装置を制御するための電気システム設計、制御基板設計、装置内配線設計をご担当いただきます。新しい機能を実現するための制御システムの構成の検討や、設計・開発および生産設計業務に従事していただきます。 ※担当装置例 ・高精度電子線計測システム GT2000/高分解能FEB測長装置CG7300/ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ ■製品化技術 ・高精度・低ノイズアナログ回路技術による電子線ビーム制御(定電流制御) ・検出系制御に必要な中高圧電源回路および微小電流増幅回路(TIA回路) ・FPGAを搭載したプリント基板設計およびRTLコーディング ・モーター(DCリニア、ステッピング、ピエゾ)による試料位置制御 ・AC/DC及びDC/DC電源回路 (シリーズレギュレータ、スイッチングレギュレータ) ・真空排気シーケンス制御 (真空計、ポンプ) ・マイコン周辺制御 (I/O、インターフェース制御(Ethernet、シリアルなど)) ・その他、アナログ・デジタル混在回路の設計など。 ■生産設計業務 ・規格対応(SEMI/IEC規格等)及びEMC試験、3DCAD(Creo)オペレーター(電気系ユニット組立図、板金図、ケーブル図)