技術開発
■次世代EUV露光用CNTペリクルの量産化に向け、CNT膜へのコーティング技術開発を担当していただきます。 【具体的には】 ・コーティング材料、膜構成、膜厚、成膜条件の設計・最適化に加え、水素プラズマ耐性、EUV環境耐性、膜寿命、機械特性、表面・構造解析等の評価計画立案、結果解析、改善方針を策定する。 ・開発技術を量産プロセスへ接続するために、装置仕様、成膜条件、評価項目、量産適用課題を整理し、社内関係部署、装置メーカー、研究機関と連携して開発を推進する。 ・ASML、imec、顧客、産総研等との対外技術議論に参加し、評価結果や技術課題を根拠に基づいて説明・議論する。 ※将来的にはCNTペリクル開発全体を理解し、コーティング領域を中心に開発テーマを牽引する役割を期待します。